大負(fù)載主動(dòng)氣浮桌腿型光學(xué)平臺(tái)隔振器

大負(fù)載主動(dòng)氣浮桌腿型光學(xué)平臺(tái)隔振器產(chǎn)品簡介

明立精機(jī)的MAPS 系列產(chǎn)品的除振系統(tǒng)是在精巧的形狀中加入垂直與水平用的氣壓驅(qū)動(dòng)器而構(gòu)成的組裝型除振裝置。使用1 組4 個(gè)的話，對應(yīng)全自由度的振動(dòng)，能發(fā)揮出優(yōu)秀的除振性能、制振性能、定位性能等。

產(chǎn)品特點(diǎn)

1. MAPS 可以消除被動(dòng)除振的困難頻段的振動(dòng)

2. 標(biāo)準(zhǔn)的MAPS 可除振10 噸以上的設(shè)備

3. 搭載工件等移動(dòng)裝置也不會(huì)搖擺

4. MAPS 具有優(yōu)秀的精確定位及精密校平性能

5. MAPS 是小型易操作的組合型系列

6. MAPS 是構(gòu)成精密設(shè)備的一個(gè)重要部分

應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體制造，激光加工等

主要規(guī)格和參數(shù)表

產(chǎn)品特點(diǎn)

1. MAPS 可以消除被動(dòng)除振的困難頻段的振動(dòng)

2. 標(biāo)準(zhǔn)的MAPS 可除振10 噸以上的設(shè)備

3. 搭載工件等移動(dòng)裝置也不會(huì)搖擺

4. MAPS 具有優(yōu)秀的精確定位及精密校平性能

5. MAPS 是小型易操作的組合型系列

6. MAPS 是構(gòu)成精密設(shè)備的一個(gè)重要部分

應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體制造，激光加工等

產(chǎn)品特點(diǎn)

1. MAPS 可以消除被動(dòng)除振的困難頻段的振動(dòng)

2. 標(biāo)準(zhǔn)的MAPS 可除振10 噸以上的設(shè)備

3. 搭載工件等移動(dòng)裝置也不會(huì)搖擺

4. MAPS 具有優(yōu)秀的精確定位及精密校平性能

5. MAPS 是小型易操作的組合型系列

6. MAPS 是構(gòu)成精密設(shè)備的一個(gè)重要部分

應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體制造，激光加工等